AMAT 0010-28715 Anello di spurgo del riscaldatore HTR MCA SST da 300 mm

Descrizione

L'AMAT 0010-28715 è un riscaldatore ad alte prestazioni prodotto da Applied Materials, utilizzato principalmente per il controllo della temperatura nei sistemi di mandrini elettrostatici (ESC) durante la produzione di semiconduttori.

Caratteristiche

• Controllo preciso della temperatura: consente una regolazione accurata della temperatura dell'ESC entro un intervallo prestabilito, garantendo stabilità e affidabilità nel processo di produzione dei semiconduttori.
• Tolleranza alle alte temperature: in grado di resistere a temperature fino a 300°C, adattandosi a vari processi di produzione di semiconduttori.
• Riscaldamento uniforme: progettato per fornire una distribuzione uniforme della temperatura sulla superficie del riscaldatore, prevenendo difetti di processo causati da incoerenze di temperatura.
• Lunga durata: realizzato con materiali resistenti alle alte temperature, offre una durata utile estesa e riduce i costi di manutenzione.
• Ampia compatibilità: compatibile con vari modelli di mandrini elettrostatici di Applied Materials.

Applicazioni

• Lavorazione dei wafer: controlla la temperatura del mandrino elettrostatico durante i processi di incisione, deposizione e litografia, garantendo la stabilità del processo e la qualità del prodotto.
• Ricerca e sviluppo: fornisce ambienti di controllo preciso della temperatura per lo sviluppo di materiali e dispositivi semiconduttori.
• Produzione ad alto volume: mantiene la coerenza del processo e migliora l'efficienza produttiva negli impianti di produzione di semiconduttori ad alto rendimento.