Anel de purga do aquecedor AMAT 0010-28715 300 mm HTR MCA SST

Descrição

O AMAT 0010-28715 é um aquecedor de alto desempenho produzido pela Applied Materials, usado principalmente para controle de temperatura em sistemas de mandril eletrostático (ESC) durante a fabricação de semicondutores.

Características

• Controle preciso de temperatura: Permite a regulação precisa da temperatura do ESC dentro de uma faixa definida, garantindo estabilidade e confiabilidade no processo de fabricação de semicondutores.
• Tolerância a altas temperaturas: Capaz de suportar temperaturas de até 300°C, acomodando vários processos de fabricação de semicondutores.
• Aquecimento Uniforme: Projetado para fornecer distribuição uniforme de temperatura em toda a superfície do aquecedor, evitando defeitos de processo causados ​​por inconsistências de temperatura.
• Longa Vida Útil: Fabricado com materiais resistentes a altas temperaturas, oferecendo vida útil prolongada e reduzindo custos de manutenção.
• Ampla compatibilidade: Compatível com vários modelos de mandris eletrostáticos da Applied Materials.

Formulários

• Processamento de Wafer: Controla a temperatura do Mandril Eletrostático durante os processos de gravação, deposição e litografia, garantindo a estabilidade do processo e a qualidade do produto.
• Pesquisa e Desenvolvimento: Fornece ambientes precisos de controle de temperatura para materiais semicondutores e desenvolvimento de dispositivos.
• Produção de alto volume: mantém a consistência do processo e melhora a eficiência da produção em instalações de fabricação de semicondutores de alto rendimento.