AMAT 0010-28715 300 มม. HTR MCA SST แหวนล้างฮีตเตอร์

คำอธิบาย

AMAT 0010-28715 เป็นเครื่องทำความร้อนประสิทธิภาพสูงที่ผลิตโดยวัสดุประยุกต์ ซึ่งส่วนใหญ่ใช้สำหรับการควบคุมอุณหภูมิในระบบ Electrostatic Chuck (ESC) ในระหว่างการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

คุณสมบัติ

• การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ: ช่วยให้ควบคุมอุณหภูมิของ ESC ได้อย่างแม่นยำภายในช่วงที่กำหนด ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรและความน่าเชื่อถือในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
• ความทนทานต่ออุณหภูมิสูง: สามารถทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 300°C รองรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ
• การทำความร้อนสม่ำเสมอ: ออกแบบมาเพื่อให้การกระจายอุณหภูมิสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวเครื่องทำความร้อน ป้องกันข้อบกพร่องในกระบวนการที่เกิดจากความไม่สอดคล้องกันของอุณหภูมิ
• อายุการใช้งานยาวนาน: ผลิตจากวัสดุที่ทนต่ออุณหภูมิสูง จึงมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้นและลดต้นทุนการบำรุงรักษา
• ความเข้ากันได้กว้าง: ใช้งานได้กับหัวจับไฟฟ้าสถิตของวัสดุประยุกต์หลายรุ่น

การใช้งาน

• การประมวลผลแผ่นเวเฟอร์: ควบคุมอุณหภูมิของหัวจับไฟฟ้าสถิตระหว่างกระบวนการกัด การตกตะกอน และการพิมพ์หิน เพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของกระบวนการและคุณภาพของผลิตภัณฑ์
• การวิจัยและพัฒนา: มอบสภาพแวดล้อมการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำสำหรับการพัฒนาวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์
• การผลิตในปริมาณมาก: รักษาความสม่ำเสมอของกระบวนการและปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ให้ผลตอบแทนสูง