Tanım
AMAT 0041-75950, ince film biriktirme için sıcaklık kontrollü ısıtma veya soğutma reaktörü olarak tasarlanmış bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) reaktörüdür. Çeşitli alt tabakalar üzerine uyumlu ve düzgün filmler biriktirmek için kullanılır. Reaktör, hassas termal kontrol ve verimli malzeme aktarımına olanak tanıyan, vakumla kapatılmış bir kap içine yerleştirilmiş bir reaksiyon odasından oluşur. Bu ekipman, oda sıcaklığından 1000°C'ye kadar bir sıcaklık aralığında çalışarak çeşitli ince film malzemelerinin biriktirilmesine olanak sağlar.
Özellikler
-
Modeli: 0041-75950
-
Üretici: Uygulamalı Malzemeler (AMAT)
-
Tip: Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) Reaktörü
-
Sıcaklık Aralığı: Oda sıcaklığı ila 1000°C
-
Uyumlu Yüzeyler: Silikon, safir, kuvars, cam
-
Biriktirme Malzemeleri: Silikon nitrür, silikon dioksit, alüminyum nitrür ve daha fazlası
-
Isıtma Yöntemleri: Elektron bombardımanı, indüksiyonla ısıtma ve diğer kaynaklar
Özellikler
-
Sıcaklık Kontrollü Oda: Reaksiyon odası, optimum film biriktirme için hem ısıtma hem de soğutma işlevlerini destekleyen hassas termal kontrol için tasarlanmıştır.
-
Gaz Kontrol Sistemi: Bir gaz kontrol ünitesi, biriktirme işlemi sırasında reaksiyon odasına doğru miktarda gaz ileterek ince filmin kalitesi üzerinde hassas kontrol sağlar.
-
Biriktirme Kaynağı: Biriktirme kaynağı, malzemenin alt tabaka üzerine bırakılacağı reaksiyon odasına kontrollü bir malzeme beslemesi sağlar.
-
Çok Yönlü Isıtma Sensörleri: Reaktör, elektron bombardımanı ve indüksiyonla ısıtma gibi çeşitli ısıtma yöntemlerini kullanabilen ısıtmalı veya soğutmalı manyetik sensörlerle donatılmıştır.
-
Çoklu Malzeme Uyumluluğu: Reaktör, filmleri silikon, safir, kuvars ve cam dahil olmak üzere çok çeşitli alt tabakalar üzerine biriktirmek üzere tasarlanmıştır.
-
İnce Film Malzemeleri: Silikon nitrür, silikon dioksit ve alüminyum nitrür gibi çeşitli ince filmleri biriktirebilir, bu da onu farklı uygulamalar için çok yönlü hale getirir.
-
Kullanıcı Dostu Tasarım: Reaktör, sezgisel bir bilgisayar arayüzüne sahiptir ve kullanıcıya kolaylık sağlamak için hem otomatik hem de manuel çalıştırma seçenekleri sunar.
-
Hassas Kontrol: Sıcaklık, gaz akışı ve biriktirme oranları üzerinde doğru kontrol sağlayarak yarı iletken, optoelektronik ve fotomekanik endüstrilerindeki çok çeşitli uygulamalar için idealdir.
-
Sağlam Mekanik Tasarım: Dayanıklı malzemeler ve sağlam bir mekanik tasarımla üretilen reaktör, güvenli ve güvenilir çalışmayı sağlar.
Topbrands PLC Limited is a top supplier of genuine new PLC and DCS parts, serving over 50 countries globally. We offer high-quality products from renowned brands like Bently Nevada, Honeywell, ABB, and more. With our warehouse in China stocking up to 30,000 pieces, we ensure rapid delivery to meet urgent order needs while maintaining competitive pricing to save our customers' budgets. Learn more...
Contact Information