Tavsif
AMAT 0041-75950bu kimyoviy bugʻlarni choʻktirish (CVD) reaktori boʻlib, yupqa qatlamli qatlam uchun harorat bilan boshqariladigan isitish yoki sovutish reaktori sifatida moʻljallangan. Turli substratlarga konformal va bir xil plyonkalarni joylashtirish uchun ishlatiladi. Reaktor vakuumli yopilgan idishga o'ralgan reaksiya kamerasidan iborat bo'lib, aniq issiqlik nazorati va materiallarni samarali o'tkazish imkonini beradi. Ushbu uskuna xona haroratidan 1000 ° C gacha bo'lgan harorat oralig'ida ishlaydi, bu turli xil nozik plyonkali materiallarni cho'ktirish imkonini beradi.
Texnik xususiyatlari
-
Model: 0041-75950
-
Ishlab chiqaruvchi: Amaliy materiallar (AMAT)
-
Turi: Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) reaktori
-
Harorat diapazoni: Xona harorati 1000°C gacha
-
Mos keladigan substratlar: kremniy, sapfir, kvarts, shisha
-
To'kish materiallari: kremniy nitridi, kremniy dioksidi, alyuminiy nitridi va boshqalar
-
Isitish usullari: elektron bombardimon qilish, induksion isitish va boshqa manbalar
Xususiyatlari
-
Temperatura bilan boshqariladigan kamera: Reaksiya kamerasi plyonkani optimal joylashtirish uchun isitish va sovutish funksiyalarini qo‘llab-quvvatlovchi aniq issiqlik nazorati uchun mo‘ljallangan.
-
Gazni boshqarish tizimi: Gazni boshqarish bloki cho'kish jarayonida reaksiya kamerasiga aniq miqdorda gaz etkazib beradi va bu yupqa plyonka sifati ustidan aniq nazoratni ta'minlaydi.
-
To'planish manbai: Cho'kma manbai reaktsiya kamerasiga materialni nazorat ostida etkazib berishni ta'minlaydi, u erda u substratga yotqiziladi.
-
Ko'p qirrali isitish datchiklari: Reaktor isitiladigan yoki sovutilgan magnit sensorlar bilan jihozlangan bo'lib, elektron bombardimon va induksion isitish kabi turli isitish usullaridan foydalanishga qodir.
-
Ko'p materiallarga muvofiqligi: Reaktor plyonkalarni kremniy, safir, kvarts va shisha kabi turli xil substratlarga joylashtirish uchun mo'ljallangan.
-
Yupqa kino materiallari: U kremniy nitridi, kremniy dioksidi va alyuminiy nitridi kabi turli xil yupqa plyonkalarni joylashtirishi mumkin, bu uni turli ilovalar uchun ko'p qirrali qiladi.
-
Foydalanuvchilar uchun qulay dizayn: Reaktor intuitiv kompyuter interfeysiga ega va foydalanuvchi qulayligi uchun ham avtomatlashtirilgan, ham qo‘lda ishlash imkoniyatlarini taklif etadi.
-
Aniq nazorat: Bu harorat, gaz oqimi va cho'kish tezligi ustidan aniq nazoratni ta'minlaydi, bu uni yarimo'tkazgich, optoelektronika va fotomexanika sanoatida keng ko'lamli ilovalar uchun ideal qiladi.
-
Mustahkam mexanik dizayn: Bardoshli materiallar va mustahkam mexanik dizayn bilan qurilgan reaktor xavfsiz va ishonchli ishlashini ta'minlaydi.
Topbrands PLC Limited is a top supplier of genuine new PLC and DCS parts, serving over 50 countries globally. We offer high-quality products from renowned brands like Bently Nevada, Honeywell, ABB, and more. With our warehouse in China stocking up to 30,000 pieces, we ensure rapid delivery to meet urgent order needs while maintaining competitive pricing to save our customers' budgets. Learn more...
Contact Information