AMAT 0010-28715 Vòng thanh lọc bộ làm nóng HTR MCA SST 300mm

Sự miêu tả

AMAT 0010-28715 là bộ gia nhiệt hiệu suất cao do Ứng dụng Vật liệu sản xuất, chủ yếu được sử dụng để kiểm soát nhiệt độ trong hệ thống Kẹp tĩnh điện (ESC) trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

Đặc trưng

• Kiểm soát nhiệt độ chính xác: Cho phép điều chỉnh nhiệt độ chính xác của ESC trong phạm vi đã đặt, đảm bảo độ ổn định và độ tin cậy trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.
• Khả năng chịu nhiệt độ cao: Có khả năng chịu được nhiệt độ lên tới 300°C, đáp ứng nhiều quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau.
• Sưởi ấm đồng đều: Được thiết kế để cung cấp sự phân bổ nhiệt độ đồng đều trên bề mặt bộ sưởi, ngăn ngừa các lỗi quy trình do sự không nhất quán về nhiệt độ gây ra.
• Tuổi thọ dài: Được làm từ vật liệu chịu nhiệt độ cao, mang lại tuổi thọ sử dụng kéo dài và giảm chi phí bảo trì.
• Khả năng tương thích rộng: Tương thích với nhiều mẫu mâm cặp tĩnh điện của Vật liệu ứng dụng.

Các ứng dụng

• Xử lý wafer: Kiểm soát nhiệt độ của mâm cặp tĩnh điện trong quá trình ăn mòn, lắng đọng và in thạch bản, đảm bảo độ ổn định của quy trình và chất lượng sản phẩm.
• Nghiên cứu và Phát triển: Cung cấp môi trường kiểm soát nhiệt độ chính xác để phát triển vật liệu bán dẫn và thiết bị.
• Sản xuất khối lượng lớn: Duy trì tính nhất quán của quy trình và cải thiện hiệu quả sản xuất tại các cơ sở sản xuất chất bán dẫn năng suất cao.