Leírás
Az AMAT 0041-75950 egy kémiai gőzleválasztásos (CVD) reaktor, amelyet hőmérséklet-szabályozott fűtő- vagy hűtőreaktornak terveztek vékonyréteg-leválasztáshoz. Konform és egyenletes fóliák felhordására szolgál különféle hordozókra. A reaktor egy vákuumzárású tartályba zárt reakciókamrából áll, amely pontos hőszabályozást és hatékony anyagátvitelt tesz lehetővé. Ez a berendezés szobahőmérséklettől 1000°C-ig terjedő hőmérsékleti tartományban működik, lehetővé téve különféle vékonyrétegű anyagok lerakódását.
Műszaki adatok
-
Modell: 0041-75950
-
Gyártó: Alkalmazott anyagok (AMAT)
-
Típus: Vegyi gőzleválasztásos (CVD) reaktor
-
Hőmérséklet-tartomány: Szobahőmérséklet 1000°C-ig
-
Kompatibilis szubsztrátumok: szilícium, zafír, kvarc, üveg
-
Lerakó anyagok: szilícium-nitrid, szilícium-dioxid, alumínium-nitrid stb.
-
Fűtési módszerek: elektronbombázás, indukciós fűtés és egyéb források
Jellemzők
-
Hőmérséklet-szabályozott kamra: A reakciókamrát precíz hőszabályozásra tervezték, és támogatja a fűtési és hűtési funkciókat az optimális filmlerakódás érdekében.
-
Gázvezérlő rendszer: A gázvezérlő egység pontos mennyiségű gázt juttat a reakciókamrába a leválasztási folyamat során, így biztosítva a vékony film minőségének pontos szabályozását.
-
Lerakódási forrás: A lerakódási forrás szabályozott anyagellátást biztosít a reakciókamrába, ahol az anyag lerakódik a hordozóra.
-
Sokoldalú fűtésérzékelők: A reaktor fűtött vagy hűtött mágneses érzékelőkkel van felszerelve, amelyek különféle fűtési módszerek alkalmazására képesek, például elektronbombázás és indukciós fűtés.
-
Többféle anyag kompatibilitása: A reaktort arra tervezték, hogy filmeket vigyen fel sokféle hordozóra, beleértve a szilíciumot, zafírt, kvarcot és üveget.
-
Vékonyrétegű anyagok: Különféle vékony filmrétegeket, például szilícium-nitridet, szilícium-dioxidot és alumínium-nitridet képes felhordani, így sokoldalúan használható különböző alkalmazásokhoz.
-
Felhasználóbarát kialakítás: A reaktor intuitív számítógépes felülettel rendelkezik, és automatizált és kézi működtetési lehetőségeket is kínál a felhasználó kényelme érdekében.
-
Precíz vezérlés: Pontosan szabályozza a hőmérsékletet, a gázáramlást és a lerakódási sebességet, így ideális a félvezető-, optoelektronikai és fotomechanikai ipar számos alkalmazásához.
-
Erős mechanikai kialakítás: A tartós anyagokból és szilárd mechanikai kialakításból készült reaktor biztonságos és megbízható működést biztosít.
Topbrands PLC Limited is a top supplier of genuine new PLC and DCS parts, serving over 50 countries globally. We offer high-quality products from renowned brands like Bently Nevada, Honeywell, ABB, and more. With our warehouse in China stocking up to 30,000 pieces, we ensure rapid delivery to meet urgent order needs while maintaining competitive pricing to save our customers' budgets. Learn more...
Contact Information